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Versteigerungen
44227  Dortmund, Emil-Figge-Straße 76-80
Ende ab Montag, 31.08.2026 10:00 Uhr
Auktionsstatus: aktiv
 
 
Seiten:  1
zu Pos.-Nr.: 
Positions-Nr.,   BezeichnungStartpreis €Anzahl
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Pos. 1Komplettes MOCVD-Epitaxie-Produktionspaket inkl. Abgasreinigung (demontiert und eingelagert)
Fabrikat: AIXTRON / Thomas Swan, Ein hochleistungsfähiges Anlagenpaket für die Halbleiterfertigung, das speziell für das Wachstum von GaN/(Al,Ga, In) N-basierten Materialien ausgelegt ist.
Diese Position umfasst zwei vollausgestattete "Close Coupled Showerhead" (CCS) MOCVD-Systeme des renommierten Herstellers AIXTRON / Thomas Swan sowie ein exakt darauf abgestimmtes, hochsicheres Abgasreinigungssystem der CS Clean Systems AG. Ideal für den sofortigen Ausbau von R&D- oder Massenproduktionskapazitäten. Bestandteile dieser Position:

1. AIXTRON / Thomas Swan
CCS MOCVD System (19x2" Substrate)
Bj. verm. 2005
Späteres Upgrade CS68530 GaN to InP
Seriennummern
nach Upgrade CS13834

Reaktorkapazität: Zeitgleiche Abscheidung auf 19 Substraten à 2 Zoll.

Heizsystem: 3-Zonen-Wolframheizer mit SiC-beschichtetem Graphit-Suszeptor für Oberflächentemperaturen bis zu 1300 °C.

Prozesskontrolle: 5 optische Fenster, inklusive Vorbereitung für einen in-situ "EpiCurve" Wafer-Wölbungssensor. Ausgestattet mit dem in-situ Monitor "Epi-TT" für emissionskorrigierte Pyrometrie (950 nm) und Echtzeitmessung der Wachstumsrate.

Infrastruktur: Integriert in eine doppelseitige Glovebox mit N2-Zirkulation.

2. AIXTRON / Thomas Swan Scientific Equipment CCS IC Reaktor für die Abscheidung von 30x2“ Substraten
Bj. verm. 09/2008

Reaktorkapazität: Hochdurchsatz-Reaktor für die Abscheidung auf 30 Substraten à 2 Zoll bei bis zu 1200 °C.

Reaktordesign: Zweifachplenum Showerhead Injektor mit Querstrom-Wasserkühlung und 6 optischen Öffnungen.

Umgebung: Eigene Glovebox für eine vollständig inerte Reaktor-Umgebung (Feuchtelevel < 1ppm) mit integrierter Zirkulations- und Regenerationseinheit sowie Sensoren für H2, O2, und Feuchte.

Steuerung: Modernes ControlLogix® PLC-System mit AIXACT® Prozesskontrollsoftware für umfassendes Rezeptmanagement und Datalogging.

3. CS Clean Systems Abgasreinigung & Extractor Dilutor (Modell ED500/2)

Systemaufbau: Dediziertes Dual-Scrubber System (CATGaN) zur simultanen Behandlung der Abgase beider MOCVD-Reaktoren.

Sicherheit: Das nachgeschaltete Extractor-Dilutor System verdünnt die anfallende Wasserstoffkonzentration sicher auf unter 25 % der unteren Explosionsgrenze (LEL).

Ausstattung: Vier integrierte Gasringvakuumpumpen (je 300 m³/h Saugvermögen) gewährleisten höchste Ausfallsicherheit. Die Anlage ist ATEX T3 konform.

Die Anlagen werden im Zustand wie vorhanden und besichtigt verwertet.

Der Verkauf erfolgt ausschließlich innerhalb der EU:
Ein Weiterverkauf durch den Käufer richtet sich nach
der
VERORDNUNG (EU) 2021/821 DES EUROPÄISCHEN PARLAMENTS UND DES RATES
vom 20. Mai 2021
über eine Unionsregelung für die Kontrolle der Ausfuhr, der Vermittlung, der technischen
Unterstützung der Durchfuhr und der Verbringung betreffend Güter mit doppeltem
Verwendungszweck

https://eur-lex.europa.eu/legal-content/DE/TXT/PDF/?uri=CELEX:32021R0821
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